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更新時間：2025-12-04
廠商性質：經銷商
訪 問 量 ：1797
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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001
| 參數類別 | 詳細規格 |
|---|---|
| 型號 | 61332-KEAF-0001 |
| 類型 | 氣動驅動高真空蝶形控制閥（金屬密封） |
| 真空范圍 | 工作壓力：10?? mbar 至 大氣壓（兼容超高真空/XHV） |
| 漏率 | <1×10?? mbar·l/s（金屬密封版） |
| 溫度范圍 | -20°C 至 +150°C（標準）/ 可選高溫版至 +250°C（金屬密封） |
| 閥體材質 | 316L不銹鋼（電解拋光，表面粗糙度 Ra ≤ 0.8 μm） |
| 密封材質 | 標準：全金屬密封（無彈性體） 可選：氟橡膠（FKM，適用于非等離子體環境） |
| 驅動方式 | 氣動執行（單作用彈簧復位/雙作用） 響應時間：<100 ms（全開至全關） |
| 法蘭標準 | ISO-KF、CF 或定制法蘭（SEMI標準兼容） |
| 控制信號 | 可選：4-20mA模擬量反饋、數字信號（RS485） |
蝶板設計：
采用低慣量鈦合金蝶板，減少顆粒生成，適合潔凈環境（符合SEMI F47標準）。
動態平衡結構，降低氣流擾動對晶圓工藝的影響。
密封技術：
金屬密封：金包覆不銹鋼密封圈，耐高溫烘烤（≤150°C持續），抗等離子體腐蝕。
彈性體密封（可選）：FKM材質，適用于非腐蝕性氣體環境（漏率略高，約10?? mbar·l/s）。
氣動模塊：
標配氣壓范圍：4-6 bar（干燥空氣或氮氣驅動）。
可選防爆設計（ATEX認證）。
位置反饋：
高精度電位器或霍爾傳感器，實時監控閥門開度（精度±0.5%）。
Cv值：0.8（全開時，介質為空氣）。
流量調節比：100:1（線性控制區間）。
| 真空級別 | 漏率要求 | 61332-KEAF-0001實測數據 |
|---|---|---|
| 高真空（HV） | <10?? mbar·l/s | <5×10?? mbar·l/s |
| 超高真空（XHV） | <10?? mbar·l/s | <1×10?? mbar·l/s（金屬密封） |
| 工藝設備 | 功能角色 | 配套型號要求 |
|---|---|---|
| 刻蝕機（Etch） | 腐蝕性氣體隔離（Cl?/HBr） | 金屬密封+等離子體防護涂層 |
| ALD/CVD | 前驅體氣體精準控制 | 快速響應（<50 ms）+高線性度 |
| 離子注入機 | 束線真空隔離 | 超高真空密封（XHV級） |
| 晶圓傳輸模塊 | Loadlock快速抽真空 | 大口徑（可選VAT 48系列配合） |
氣體介質：
兼容腐蝕性氣體（WF?、NH?、SiH?等），需指定鍍層（如PTFE或Al?O?）。
顆粒控制：
符合ISO 14644-1 Class 4潔凈度要求（每立方米≤3520顆粒，粒徑≥0.5 μm）。
法蘭對接：
使用無應力安裝工具，避免閥體變形（扭矩限制：≤10 Nm）。
氣路連接：
氣源需配備0.1 μm過濾器，防止顆粒污染。
常規檢查：
每3個月檢查密封面磨損（金屬密封壽命約10?次循環）。
深度維護：
每2年或50萬次循環后更換密封圈（原廠維修包編號：VAT-MK-61332）。
優勢供應：
商品編號61338-PEAE-0001
商品編號61348-PECN-0001
商品編號61340-PECE-0001
商品編號61344-PAAX-0001
商品編號61344-PEAX-0001
商品編號 61350-PAAK-0001
商品編號61338-PAAN-0001
商品編號61348-PAAQ-0001
61336-PACX-0001
61336-PACE-0001
61348-PEAQ-0001
61340-PECX-0001
61340-PACF-0001
61350-PAGQ-0001
61344-PACQ-0001
瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001
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