瑞士VAT高真空蝶形控制閥61348-PEGH-0001

1. 產品基本信息

• 型號：61348-PEGH-0001

• 類型：高真空蝶形控制閥（Pneumatically Actuated）

• 制造商：VAT Group（瑞士）

• 系列：61系列（高性能蝶閥，適用于嚴苛環境）

2. 關鍵性能參數

真空與密封性能

• 真空范圍：

• 工作壓力：10?? mbar 至 大氣壓（超高真空兼容）

• 漏率：<1×10?? mbar·l/s（金屬密封版）

• 密封選項：

• 標準：氟橡膠（FKM，耐等離子體腐蝕）

• 可選：全金屬密封（無彈性體，適用于高溫/強腐蝕環境）

機械與材料特性

• 閥體材質：不銹鋼 316L（表面電解拋光，Ra ≤ 0.8 μm）

• 法蘭標準：ISO-KF、CF 或定制法蘭（SEMI標準兼容）

• 驅動方式：氣動執行（單/雙作用可選）

• 響應時間：<100 ms（全開至全關）

溫度適應性

• 標準溫度：-20°C 至 +150°C

• 高溫版本：可選 +250°C（需指定金屬密封）

• 烘烤兼容性：支持 ≤150°C 持續烘烤

3. 半導體行業典型應用

• 刻蝕設備（Etch）：

• 用于 Cl?、HBr、SF? 等腐蝕性氣體隔離，耐等離子體侵蝕。

• 薄膜沉積（CVD/ALD/PVD）：

• 快速調節反應氣體流量，金屬密封版適用于WF?等高活性前驅體。

• 離子注入（Implant）：

• 超高真空隔離，確保束線潔凈度。

• 晶圓傳輸系統：

• 負載鎖（Loadlock）與傳輸腔室之間的快速壓力控制。

4. 型號對比與替代參考

5. 安裝與維護指南

安裝注意事項

• 法蘭對齊：需使用無應力安裝工具，避免閥體變形影響密封。

• 氣源要求：驅動氣壓 4–6 bar（需潔凈干燥空氣或氮氣）。

• 測試：空載開閉循環 ≥3 次，確認無卡滯。

維護建議

• 常規檢查：

• 每3個月檢查密封面潔凈度（可用IPA擦拭）。

• 每6個月測試漏率（氦質譜檢漏儀）。

• 壽命指標：

• 彈性體密封：約50萬次循環。

• 金屬密封：>100萬次循環（需定期潤滑）。

常見故障處理

• 問題：閥門響應慢
  → 檢查氣源壓力或執行機構是否泄漏。

• 問題：真空漏率升高
  → 清潔密封面或更換密封圈（避免使用尖銳工具）。

• 特殊說明

• 定制選項：

• 可提供帶位置反饋（模擬量/數字信號）版本。

• 支持氟化涂層（如PTFE）以增強耐腐蝕性。

• 交期：

• 標準型號：8–12周（瑞士生產）；

• 緊急訂單：可聯系VAT亞洲倉庫（新加坡/上海）查詢庫存。

  常供貨型號：

  商品編號61340-PACE-0001

• 商品編號61348-PACN-0001

• 商品編號61338-PEAN-0001

• 商品編號61348-PAAF-0001

• 商品編號61346-PAGQ-0001

• 商品編號61346-PEGQ-0001

• 商品編號61348-PEAF-0001

• 商品編號61332-KEAF-0001

• 商品編號61338-PEAE-0001

• 商品編號61348-PECN-0001

• 商品編號61340-PECE-0001

• 商品編號61344-PAAX-0001

• 商品編號61344-PEAX-0001

• 商品編號61350-PAAK-0001

• 商品編號61338-PAAN-0001
  

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61348-PEGH-0001